{"product_id":"ieej-pst07025","title":"プラズマ洗浄装置における酸素ラジカル及びイオン照射効果の検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST07025\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/08\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eOxygen radical and ion irradiation effect in plasma cleaning equipment\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e吉田 優弥(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuya Yoshida(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ洗浄|酸素プラズマ|酸素ラジカル|R.F.プラズマ|白金線触媒プローブ|plasma cleaning|oxygen plasma|oxygen radical|R.F. plasma|platinum wire catalytic probe\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e481 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359292149999,"sku":"IEEJ-PST07025-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_01eecf2c-7937-4f79-af80-7aea3d46f6f4.png?v=1743474578","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst07025","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}