{"product_id":"ieej-pst07029","title":"質量選択的運動量制御に向けたECR酸素プラズマの低温部引き出しと動重力増強の観察","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST07029\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/08\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe investigation of the ponderomotive force's enhancement accompanying with the extraction of lower energy electrons from ECR oxygen plasma for mass-selective momentum control\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e藪内 祐二(茨城大学),菅谷聡一 (茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),山内 智(茨城大学),大貫 仁(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuji yabuuchi(Ibaraki University),Souichi Sugaya(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University),Satoshi Yamauchi(Ibaraki University),Jin Oonuki(Ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e質量選択的運動量制御|動重力|磁化イオン|ECRプラズマプロセス|酸化物材料|ZnO|低電子温度|mass-selective momentum control|ponderomotive force|magnetized ions|ECR plasma processing|oxide compound materials|ZnO|low electron temperature\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e454 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359292281071,"sku":"IEEJ-PST07029-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b6fd2209-24bd-4b50-b6cb-33400f7ac4b5.png?v=1743474590","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst07029","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}