{"product_id":"ieej-pst07049","title":"モンテカルロ法による高周波CF4プラズマ中電子エネルギー分布の特性解析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST07049\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/09\/13\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAnalysis of electron energy distribution in radio-frequency CF4 plasma using Monte Carlo method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e森 直樹(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),荒木田大嗣 (北海道大学),江口 礼良(北海道大学),須田 善行(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNaoki Mori(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Daishi Arakita(Hokkaido University),Noriyosi Eguchi(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eCF4プラズマ|モンテカルロ法|平行平板|平均電子エネルギー|電子エネルギー分布|プラズマバルク|CF4 plasma|Monte Carlo method|parallel plate|mean electron energy|electron energy distribution|plasma bulk\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e586 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359293493487,"sku":"IEEJ-PST07049-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e2ca126b-73a7-41cb-aa13-de226c06cf51.png?v=1743474681","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst07049","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}