{"product_id":"ieej-pst07050","title":"直流電圧印加による表面波プラズマパラメータの改善","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST07050\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/09\/13\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe improvement of surface wave plasma parameters with DC bias\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e武捨章洋 (東京理科大学),工藤祐輔 (東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkihiro Musha(Tokyo University of Science),Yusuke Kudo(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e表面波プラズマ|直流電圧印加|電子密度|電子温度|パワーバランス|surface wave plasma|DC bias|electron density|electron temperature|power balance\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e391 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359293559023,"sku":"IEEJ-PST07050-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cd2fddfd-889b-4971-ad26-906e1114ebf9.png?v=1743474684","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst07050","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}