{"product_id":"ieej-pst07066","title":"プロセス用高周波・マイクロ波プラズマ源の開発とその応用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST07066\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/12\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of radio frequency and microwave plasma sources for plasma processing and its application\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e藤田 寛治(佐賀大学),大津 康徳(佐賀大学),三沢 達也(佐賀大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroharu Fujita(Saga University),Yasunori Ohtsu(Saga University),Misawa Tatsuya(Saga University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e高周波プラズマ|マイクロ波プラズマ|電子・イオンエネルギー分布\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eプラズマをインテリジェントに創製するために、プラズマ物理に基づいた様々な試みが行った。高周波プラズマの高密度化においては、駆動周波数、電極材料、ホロー陰極効果に関する影響を検討した。リング状永久磁石と円環スロットアンテナを用いることで、大面積均一マイクロ波プラズマ（直径３０ｃｍ）を生成した。更に、マイクロ波プラズマ中におけるイオンエネルギー分布やイオン２次元速度空間を静電アナライザを用いて解析した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eIn order to develop an intelligent plasma source, various tries based on plasma physics have been applied. Effects of driving frequency, electrode material and hollow cathode discharge were investigated for production of high-density radio frequency plasm\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e470 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359297229039,"sku":"IEEJ-PST07066-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f59752d1-54b6-4a21-90b0-937c66cc6be0.png?v=1743474760","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst07066","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}