{"product_id":"ieej-pst07068","title":"周波数シフトプローブを用いたプラズマ計測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST07068\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/12\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePlasma Diagnostics with Frequency Shift Probe\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中村 圭二(中部大学),原田亮 (中部大学),菅井 秀郎(中部大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKeiji Nakamura(Chubu University),Ryo Harata(Chubu University),Hideo Sugai(Chubu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e周波数シフトプローブ|電子密度|反応性プラズマ|密度モニタリング\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e材料プロセス用プラズマ源における不可侵電子密度モニタリングに向けた周波数シフトプローブを報告している。このプローブにより、絶縁膜が堆積するプラズマでも絶対密度計測が行え、表面波プローブに比べて測定できる圧力領域を拡張できた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eＡ frequency shift probe was reported for non-invasive monitoring of electron density in plasma sources for materials processing. The probe allowed us to perform absolute density measurements under soiled conditions as well as to extend its measurable pres\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e517 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359297032431,"sku":"IEEJ-PST07068-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a6610d1f-f120-49ec-9401-506fd95d882d.png?v=1743474743","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst07068","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}