{"product_id":"ieej-pst07082","title":"炭化水素プラズマによるカーボンナノチューブ生成とそのプラズマ解析 -カーボンナノチューブへの流量割合の影響-","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST07082\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/12\/22\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGrowth of Carbon Nanotubes by Hydrocarbon Plasma and its Plasma Analysis ?Influence of Gas Flow Ratio on Carbon Nanotube Growth?\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e須田 善行(北海道大学),沖田 篤士(北海道大学),小田 昭紀(名古屋工業大学),中村 潤児(筑波大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井洋輔 (北海道大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshiyuki Suda(Hokkaido University),Atsushi Okita(Hokkaido University),Akinori Oda(Nagoya Institute of Technology),Junji Nakamura(University of Tsukuba),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yosuke Sakaia(Hokkaido University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eカーボンナノチューブ|CH4\/H2 プラズマ|１次元流体モデル\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究の目的はプラズマ化学気相堆積によるカーボンナノチューブ（CNT）生成を制御することである。本目的の達成にはプラズマ気相反応、触媒表面反応、CNT成長機構の相関の解明が必要であると考えている。本実験では、炭化水素系のガス（CH4\/H2）を用い、流量割合を変化させた場合のCNTの長さ・直径・数密度を評価した。また、そのときのプラズマ気相の状態を１次元流体モデルによりプラズマの解析し、流量割合に応じたイオン、ラジカル、中性種について供給量の観点から議論する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eCarbon nanotubes (CNTs) were produced using CH4\/H2 plasma and simulated its plasma using numerical calculation. Excess H2 supply to CH4\/H2 made the diameter distribution of CNTs broader and the CNTs yield lower. From the simulation result, non-radical neu\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e645 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359297949935,"sku":"IEEJ-PST07082-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_343341d5-f75f-44cf-bef0-267685042fa2.png?v=1743474815","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst07082","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}