{"product_id":"ieej-pst07096","title":"ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電による発光スペクトルの観測およびプラズマ密度の検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST07096\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/12\/22\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEmission spectra and plasma density of High Power Pulse Sputter (HPPS) glow discharge.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRyosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hirosi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|発光スペクトル|電流密度|イオンシース\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e大電力であるHIPIMSに相当する電力密度の金属プラズマ源(HPPS)を提案する。HPPSはHIPIMSに比べ小型であり、Ｅ×Ｂドリフトは作用しない。本報告では電圧、電流を観測し、それについて検討する。また、発光スペクトルの観測を行い、プラズマの様子を観測する。そして、プラズマ密度について検討する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe propose that the metal plasma source that uses the magnetic field be generated by a new method. It differs from the conventional magnetic sputter, and the E×B drift doesn’t act at the method because the electric field and the magnetic field are paralle\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e432 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359299064047,"sku":"IEEJ-PST07096-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bc8c1f8b-0fc0-45a8-a7cb-144345bf53ea.png?v=1743474879","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst07096","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}