{"product_id":"ieej-pst08004","title":"EUV光源用超高繰り返しパルスパワー電源の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08004\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/01\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHigh Repetition Rate Pulsed Power Generator for EUV Light Source\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e長野 清彦(熊本大学),谷富慶浩 (熊本大学),富丸薫文 (熊本大学),勝木 淳(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKiyohiko Nagano(Kumamoto University),Yoshihiro Tanitomi(Kumamoto University),Nobufumi Tomimaru(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e超高繰返しパルスパワー電源|磁気パルス圧縮回路|IGBT|極端紫外線光源|放電生成プラズマ|Highly repetitive pulsed power generator|magnetic pulse compressor|IGBT|EUV light source|discharge produced plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e532 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359330717935,"sku":"IEEJ-PST08004-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_da56a83f-9a2a-4134-bb23-6551504c78aa.png?v=1743476811","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08004","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}