{"product_id":"ieej-pst08013","title":"質量選択的運動量制御に向けた亜鉛-酸素混合プラズマ中の透明導電膜合成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08013\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/01\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe synthesis of transparent conductive film in the zinc-oxygen mixture plasma for mass-selective momentum control\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤 直幸(茨城大学),小松 良寛(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),山内 智(茨城大学),大貫 仁(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNaoyuki Sato(Ibaraki University),Yoshihiro Komatsu(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University),Satoshi Yamauchi(Ibaraki University),Jin Oonuki(Ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eZnO系透明導電膜|Zn-O混合プラズマ|質量選択的運動量制御|ICPプロセス|ZnO transparent conductive film|Zn-O mixture plasma|mass-selective momentum control|ICP processing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e750 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359331406063,"sku":"IEEJ-PST08013-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_26c94e52-b4f1-4365-afb8-8cd44f8e7c1e.png?v=1743476855","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08013","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}