{"product_id":"ieej-pst08016","title":"誘導性結合型Ar\/N2プラズマ特性に関する実験的研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08016\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/05\/23\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eExperimental study on properties of inductively coupled Ar\/N2 plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e春日井 宏樹(名古屋工業大学),木村 高志(名古屋工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroki Kasugai(Nagoya Institute of Technology),Takashi Kimura(Nagoya Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eN2|Ar希釈|ICP|プローブ測定|発光分光測定|電子エネルギー分布|振動温度|回転温度|N2解離率|N2|Ar dilution|ICP|probe measurements|optical emission spectroscopy|electron energy distribution|vibrational temperature|rotational te\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e511 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359331242223,"sku":"IEEJ-PST08016-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3ab37205-e3a4-4fb2-a62f-bfd18ef7e867.png?v=1743476845","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08016","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}