{"product_id":"ieej-pst08030","title":"表面波励起プラズマを用いた円筒内面DLC成膜の高速化に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08030\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/05\/24\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStudy on speed-up of diamond-like carbon deposition to the inner wall of tube by using surface wave-excited plasma source\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e上坂 裕之(名古屋大学),岸根 翔(名古屋大学),梅原 徳次(名古屋大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroyuki Kousaka(Nagoya University),Sho Kishine(Nagoya University),Noritsugu Umehara(Nagoya University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e表面波励起プラズマ|円筒内面|DLC|高速成膜|マイクロ波|Surface wave-excited plasma|Inner wall of pipe|Diamond-like carbon|High-speed deposition|microwave\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e511 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359332585711,"sku":"IEEJ-PST08030-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2e6ca2a6-1687-44f1-9784-007a6d58cfd7.png?v=1743476924","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08030","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}