{"product_id":"ieej-pst08031","title":"対向電極型大電力パルススパッタ（HPPS）グロー放電と195kHz-RF放電によるハイブリッド放電の電気的特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08031\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/05\/24\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe electrical characteristic of the hybrid electric discharge by confrontation-electrode type-high power pulsed spattering (HPPS) glow discharge with 195 kHz-RF electric discharges\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐久間 雄基(同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuki Sakuma(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルス放電プラズマ|グロー放電|高周波放電|ハイブリッドプラズマ|大電力パルススパッタ|pulse electric discharge plasma|glow discharge|high frequency electric discharge|hybrid plasma|high-power pulsed sputtering\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e582 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359332618479,"sku":"IEEJ-PST08031-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_aec5be22-8b6d-496a-a160-a6ba774ab069.png?v=1743476927","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08031","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}