{"product_id":"ieej-pst08035","title":"金属部品の細穴内面処理のためのマイクロ波励起高密度プラズマ生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08035\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/05\/24\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMicrowave-excited high-density plasma generation for coating the inner surface of narrow hall of metal parts\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e上坂 裕之(名古屋大学),門脇 慎之介(名古屋大学),梅原 徳次(名古屋大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroyuki Kousaka(Nagoya University),Shinosuke Kadowaki(Nagoya University),Noritsugu Umehara(Nagoya University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロ波|シース|高密度プラズマ|細穴内面|金属部品|Microwave|Sheath|High-density plasma|Inner surface of narrow hall|Metal parts\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e726 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359332847855,"sku":"IEEJ-PST08035-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_7cab1a17-1b6c-4eb7-8e69-2048429128b0.png?v=1743476940","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08035","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}