{"product_id":"ieej-pst08039","title":"アモルファス炭素膜の成膜機構","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08039\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/07\/04\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGrowth mechanism of an amorphous carbon film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e篠原 正典(長崎大学),松田 良信(長崎大学),藤山 寛(長崎大学),中谷 達行(トーヨーエイテック)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasanori Shinohara(Nagasaki University),Yoshinobu Matsuda(Nagasaki University),Hiroshi Fujiyama(Nagasaki University),Tatsuyuki Nakatani(TOYO a-tec Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eアモルファス炭素膜|メタンプラズマ|多重内部反射赤外分光法|基板温度依存性|炭化水素|水素|Amorphous carbon|methane plasma|infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)|hydrocarbon|Hydrogen\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e426 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359333109999,"sku":"IEEJ-PST08039-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_202b99cf-c3f2-4d19-846a-2f6f7a32dfc3.png?v=1743476964","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08039","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}