{"product_id":"ieej-pst08044","title":"対向電極型ハイパワーパルススパッタ（HPPS）グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面のプラズマ密度","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08044\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/07\/04\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDrawing out metallic ions from confronted electrode High Power Pulse Sputter(HPPS) glow discharge and plasma density on the sample holder\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRyosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|発光スペクトル|プラズマ密度|イオンシース|シース抵抗|HPPS|HIPIMS|HPPMS|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Sputter|Emission spectra|Plasma density|ion sheath|sheath resistance|HPPS|\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e586 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359333404911,"sku":"IEEJ-PST08044-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a0c9df0e-411a-443f-a9e1-4c4c5835a89e.png?v=1743476980","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08044","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}