{"product_id":"ieej-pst08065","title":"マイクロ磁化プラズマの生成とチューブ内壁処理への応用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08065\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/10\/31\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGeneration of Magnetized Microplasma and Its Application to a Treatment for a Tube Inner Wall\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e吉木 宏之(鶴岡高専)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroyuki Yoshiki(Tsuruoka Natl. College of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eHe マイクロプラズマ，石英管，13.56 MHz，E×B ドリフト，平均自由行程，チューブ内壁，SiO2 薄膜，TEOSHe microplasma| quartz tube| 13.56 MHz| E×B drift| mean free path| tube inner wall| SiO2 thin film| TEOS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThe effect of a static magnetic field on microplasma generated in a quartz tube by a parallel-plate RF (13.56MHz) excitation was studied. If the external magnetic field is perpendicular to both RF electric field and a tube axis and the Larmor radius of el\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e594 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359334748399,"sku":"IEEJ-PST08065-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_50240905-1a53-4f81-8e86-c68977a7c190.png?v=1743477059","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08065","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}