{"product_id":"ieej-pst08076","title":"ハイパワーパルススパッタ（HPPS）マグネトロン放電装置の特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08076\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/12\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe property of high power pulsed sputtering (HPPS) magnetron discharge \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e加藤博貴 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(株式会社神戸製鋼所),沖本 忠雄(株式会社神戸製鋼所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroki Kato(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルスマグネトロンスパッタリング|HIPIMS|HPPMS|成膜|Pulsed magnetron sputtering|HIPIMSHPPMS|HPPMS|film deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究ではハイパワーパルススパッタ（HPPS）マグネトロン放電を用いた。HPPSとは、高電圧パルスを印加するスパッタの総称で、高電圧パルスを印加するマグネトロン放電は、金属種のスパッタと同時にイオン化することが可能である。HPPSマグネトロン放電においてターゲットの金属による違い、電圧を印加した時の電圧、電流特性及びイオン電流、発光スペクトルや成膜の特性等、種々の特性を測定、観測した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThis research is the electrical characteristic of high-power pulsed sputtering (HPPS) magnetron discharge. We measured and considered the voltage and the circuit current characteristics when the gas composition and pressure in the chamber was varied. The \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e648 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 10","offer_id":46359335731439,"sku":"IEEJ-PST08076-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4032b2bb-e072-45b9-b99a-5653f7e1d8e5.png?v=1743477111","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08076","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}