{"product_id":"ieej-pst08096","title":"フロン系プラズマのシミュレーションと実験的検証","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08096\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/12\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSimulation and Experimental Verification of Fluorocarbon Plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中村 圭二＊板津史明田中正明(ペガサスソフトウェア)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eK. Nakamura(PEGASUS Software Inc.),F. Itazu  M. Tanaka (PEGASUS Software Inc.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eフロロカーボンプラズマ、電子密度、プラズマシミュレータ、表面波プローブFluorocarbon plasma| Electron density| Plasma simulator| Surface wave probe\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThis paper reports on simulation and experimental verification of argon-diluted fluorocarbon plasmas produced by inductively-coupled discharges, especially for characteristics of electron densities such as spatial distribution, dependence on discharge pow\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e705 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359337828591,"sku":"IEEJ-PST08096-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3f19b77f-6b16-4874-b3bd-c434858172de.png?v=1743477171","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08096","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}