{"product_id":"ieej-pst08109","title":"リング状溝電極を用いた高密度高周波プラズマ生成とその空間構造","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST08109\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/12\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProduction of high density radio frequency plasma using a powered electrode with a ring-shaped trench and  its spatial structure \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大津 康徳(佐賀大学),浦崎 浩史(佐賀大学),三沢 達也(佐賀大学),藤田 寛治(佐賀大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYasunori Ohtsu(Saga University),Hiroshi Urasaki(Saga University),Tatsuya Misawa(Saga University),Hiroharu Fujita(Saga University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eリング状溝電極|高周波ホロー陰極効果|容量結合放電|ring-shaped trench|radio-frequency hollow cathode effect|capacitively coupled discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eUniform high-density plasma operated by radio-frequency capacitive discharge has developed using a powered electrode with a ring-shaped trench for thin film preparation. A maximum plasma density with a magnitude of 10^11cm^-3 was attained at Ar gas pressu\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e554 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359339270383,"sku":"IEEJ-PST08109-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_7c0ad95d-52b3-4e5c-a9ba-fd5351946f0b.png?v=1743477257","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst08109","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}