{"product_id":"ieej-pst09007","title":"原料によるアモルファス炭素膜の堆積過程のちがい","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST09007\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/06\/12\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDependences of growth process of amorphous carbon films on the different source gases\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e川副 大樹(長崎大学),稲吉 孝紀(長崎大学),河上 貴聡(長崎大学),篠原 正典(長崎大学),松田 良信(長崎大学),藤山 寛(長崎大学),新田 祐樹(トーヨーエイテック),中谷 達行(トーヨーエイテック)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroki Kawazoe(Nagasaki University),Takanori Inayoshi(Nagasaki University),Taka-aki Kawakami(Nagasaki University),Masanori Shinohara(Nagasaki University),Yoshinobu Matsuda(Nagasaki University),Hiroshi Fujiyama(Nagasaki University),Yuuki Nitta(TOYO a-tec),Tatsuyuki Nakatani(TOYO a-tec)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eアモルファス炭素膜|プラズマ化学気相堆積法|アセチレン|メタン|赤外分光法|amorphous carbon film|PECVD|acetylene|methane|infrared spectroscopy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e464 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359387930863,"sku":"IEEJ-PST09007-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a065c92d-c8db-437e-afab-e14cc749be3e.png?v=1743479631","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst09007","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}