{"product_id":"ieej-pst09017","title":"誘導結合プラズマ支援スパッタによるアルミ添加酸化亜鉛薄膜の作成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST09017\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/06\/13\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDeposition of aluminum-doped zinc oxide thin films by inductively-coupled plasma assisted sputtering\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岩田 忠(長崎大学),閑亮史 (長崎大学),小峰一輝 (長崎大学),篠原 正典(長崎大学),松田 良信(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTadashi Iwata(Nagasaki University),Ryoji Kan(Nagasaki University),Kazuki Konine(Nagasaki University),Masanori Shinohara(Nagasaki University),Yoshinobu Matsuda(Nagasaki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e酸化亜鉛|アルミ添加|誘導結合プラズマ|スパッタリング|透明導電膜|Zinc oxide|aluminum dope|inductively coupled plasma|sputtering|transparent conductive film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e740 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359388520687,"sku":"IEEJ-PST09017-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5719837e-bfe4-4a9a-9d81-d91b02519294.png?v=1743479670","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst09017","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}