{"product_id":"ieej-pst09021","title":"リング状ホロー電極を用いた容量結合型プラズマの高密度化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST09021\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/06\/13\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHigh density capacitive coupled plasma using ring-shaped hollow electrode\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e浦崎 浩史(佐賀大学),三沢 達也(佐賀大学),大津 康徳(佐賀大学),藤田 寛治(佐賀大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroshi Urasaki(Saga University),Tatsuya Misawa(Saga University),Yasunori Ohtsu(Saga University),Hiroharu Fujita(Saga University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eリング状溝電極|高周波ホロー陰極効果|容量結合放電|ring-shaped trench|radio-frequency hollow cathode effect|capacitively coupled discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e532 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359388946671,"sku":"IEEJ-PST09021-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a09ab433-9dd2-4809-8ba4-59fc37426fc0.png?v=1743479692","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst09021","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}