{"product_id":"ieej-pst09040","title":"シングルスロット型表面波プラズマ源のための3次元シミュレーションコードの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST09040\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/08\/06\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of 3D-Simulation Code of Surface Wave Plasma with Single Slot Antenna\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 啓基(京都工芸繊維大学),比村 治彦(京都工芸繊維大学),入江 昭彦(京都工芸繊維大学),三瓶明希夫 (京都工芸繊維大学),政宗 貞男(京都工芸繊維大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroki Tanaka(Kyoto Institute of Technology),Haruhiko Himura(Kyoto Institute of Technology),Akihiko Irie(Kyoto Institute of Technology),Akio Sanpei(Kyoto Institute of Technology),Sadao Masamune(Kyoto Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eFDTD法|プラズマプロセス|表面波|シングルスロットアンテナ|FDTD method|plasma processing|surface wave|single srot antenna\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e740 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359390355695,"sku":"IEEJ-PST09040-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bc905105-1d39-4e73-91b9-e73f69fd6a72.png?v=1743479758","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst09040","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}