{"product_id":"ieej-pst09086","title":"集束イオンビーム支援堆積法で形成したカーボン系薄膜の機械的特性のイオン種依存性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST09086\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/08\/09\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eIon species-dependence of the mechanical properties of the carbonaceous films formed by focused ion-beam-induced chemical vapor deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e柳沢 淳一(滋賀県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eJunichi Yanagisawa(The University of Shiga Prefecture)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e集束イオンビーム（FIB）|化学気相成長（CVD）|フェナントレン|カーボン系薄膜|ナノインデンテーション|硬さ|ヤング率|focused ion beam(FIB)|chemical vapor deposition(CVD)|phenanthrene|carbonaceous films|nanoindentation|hardness|Young's modulus\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e549 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359395893487,"sku":"IEEJ-PST09086-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cad94997-7d40-4059-ad6f-83f3647db4ef.png?v=1743479951","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst09086","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}