{"product_id":"ieej-pst09127","title":"水素ガス導入によるICP合成ZnO透明導電膜の低抵抗化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST09127\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/11\/14\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eReducing the resistance of ZnO transparent conductive film synthesized in ICP by introducing hydrogen gas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e吉田 善紀(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshinori Yoshida(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eICP|Zn-O2-H2混合プラズマ|ZnO透明導電膜|ICP|Zn-O2-H2 mixture plasma|ZnO Transparent Conductive Film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e513 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359402447087,"sku":"IEEJ-PST09127-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_40ec9050-fe5e-434c-b000-00e44b98c32e.png?v=1743480120","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst09127","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}