{"product_id":"ieej-pst09129","title":"誘導結合型フロロカーボンプラズマのシミュレーション","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST09129\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/11\/14\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSimulation on Inductively-Coupled Fluorocarbon Plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e板津史明 (中部大学),長田広光 (中部大学),早河健祐 (中部大学),中村圭二 (中部大学),田中正明 (ペガサスソフトウェア)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eF.Itazu (Chubu University),H.Nagata (Chubu University),K.Hayakawa (Chubu University),K.Nakamura (Chubu University),M.Tanaka (PEGASUS Software Inc.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eフロロカーボンプラズマ|プラズマシミュレータ|電子密度|ラジカル密度|Fluorocarbon plasma|Plasma simulator|Electron density|Radical density\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,103 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359402774767,"sku":"IEEJ-PST09129-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_35fa819c-2804-4226-904b-633bbdbbef19.png?v=1743480126","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst09129","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}