{"product_id":"ieej-pst09131","title":"対向電極型HPPSグロープラズマ源が放出するプラズマ流の電流電圧特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST09131\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/11\/14\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe current-voltage characteristics of plasma flow from confrontation electrode type High Power Pulsed Sputter(HPPS)glow discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e東 欣吾(兵庫県立大学),行村 建(神戸製鋼所),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKingo Azuma(University of Hyogo),Ken Yukimura(KOBE STEEL,LTD.),Hirosi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|プラズマイオンプロセス|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Sputter|Plasma ion process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e602 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359404052719,"sku":"IEEJ-PST09131-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_290ab233-6af6-43fc-9e86-a2f413d10396.png?v=1743480133","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst09131","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}