{"product_id":"ieej-pst10049","title":"超音速不足膨張噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるα\/μc-Si:H膜成長","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST10049\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/08\/12\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMicrocrystallines\/amorphous silicon growth by supersonic under-expanded jet and non-equilibrium plasma enhanced CVD\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e安藤 大輔(岐阜大学),中村 次郎(岐阜大学),恒川 佳寛(岐阜大学),栗林 志頭眞(岐阜大学),西田 哲(岐阜大学),牟田 浩司(岐阜大学),竹内 良昭(三菱重工業),山内 康弘(三菱重工業),高塚 汎(三菱重工業)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAndo Daisuke(Gifu university),Nakamura Jiro(Gifu university),Tsunekawa Yoshihiro(Gifu university),kuribayashi shizuma(Gifu university),Nishida Satoshi(Gifu university),Muta Hiroshi(Gifu university),Takeuchi Yoshiaki(Mitsubishi Heavy Industries,Ltd),Yamauchi Yasuhiro(Mitsubishi Heavy Industries,Ltd),Takatsuka Hiromu(Mitsubishi Heavy Industries,Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e非平衡プラズマ|ＣＶＤ|超音速不足膨張噴流|ＶＨＦプラズマ|低真空領域|衝突噴流|non-equilibrium plasma |CVD|under-expanded jet |VHF plasma|rough vacuum region|impinging jet\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e超音速不足膨張噴流を用いて、非平衡プラズマCVDによる新しいα\/μc-Si:H膜高速成長方法を提案する\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eExperimental investigation of  new  α\/μc-Si:H growth method by supersonic under-expanded jet and non-equilibrium plasma enhanced CVD\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,025 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359469621487,"sku":"IEEJ-PST10049-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b2d81129-93c8-413a-9037-fce3ba995ea7.png?v=1743482786","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst10049","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}