{"product_id":"ieej-pst10078","title":"非中性プラズマを用いた新しい取り組み -２流体プラズマからクラスターまで-","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST10078\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/12\/16\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eExloring new research fields using nonneutral plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e比村 治彦(京都工芸繊維大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHimura Haruhiko(Kyoto Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e非中性プラズマ|２流体プラズマ|クラスター|化合物半導体\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e非中性プラズマを用いた新しい研究手法の開発を進めている。現在，２流体プラズマと化合物半導体薄膜生成への適用可能性を調べている。本研究会では最新の進捗状況について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe have investigated possibilities of new research methods for both two-fluid plasmas and thin solid films using nonneutral plasmas. In this workshop, details of those studies are presented.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e861 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46359471194351,"sku":"IEEJ-PST10078-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5c0e4aa2-1fe0-4a34-93a0-06ac195b6b2c.png?v=1743482877","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst10078","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}