{"product_id":"ieej-pst11002","title":"多接合太陽電池向けフルスペクトルZnO透明導電膜の低気圧高周波プラズマ合成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11002\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/14\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eLow pressure rf plasma synthesis of full spectrum transparent ZnO conductive film for multi-junction solar cells\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤 直幸(茨城大学),吉田 善紀(茨城大学),柳澤 真也(茨城大学),岸田 智和(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNaoyuki Sato(Ibaraki University),Yoshinori Yoshida(Ibaraki University),Shinya Yanagisawa(Ibaraki University),Tomokazu Kishida(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e多接合太陽電池|低気圧高周波プラズマプロセシング|亜鉛－酸素混合プラズマ|ＺｎＯ透明導電膜|広帯域光透過特性|低シート抵抗|multi-junction solar cells|low pressure rf plasma processing|zinc-oxygen mixture plasma|ZnO transparent conductive film|wide band optical transmittance|low sheet resistance\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e多接合太陽電池の透明電極を念頭におき，亜鉛-酸素混合のVHF帯誘導結合プラズマを用いて，低抵抗で紫外から近赤外に亘り透明なZnO透明導電膜を合成している．これまで，ノンドープ条件で波長範囲380～2100 nmで平均光透過率 ＞ 80 %，シート抵抗 ＜ 15 Ω\/□が得られている．混合プラズマのプローブ，質量，及び分光測定を通して，酸素分子の解離に着目し，特性向上に与えるプラズマ制御の効果を報告する．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eFor the transparent electrode applied to multi-junction solar cells, we have been investigating to decrease the sheet resistance of undope ZnO transparent conductive film with keeping the high transparency on the near-infrared region as the oxygen atom density of our unique Inductively Coupled Plasma is relatively increased with no change of other processing parameter.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e6,179 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359537778927,"sku":"IEEJ-PST11002-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0e49f9c4-468d-49ce-80d4-648f11f31689.png?v=1743485942","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11002","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}