{"product_id":"ieej-pst11007","title":"ハイパワーパルスマグネトロンスパッタプラズマ源のガス圧力依存性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11007\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/05\/27\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGas pressure dependence of high power pulse magnetron sputter plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e奥原 大地(兵庫県立大学),東 欣吾(兵庫県立大学),赤松 浩(神戸市立工業高等専門学校),池畑 隆(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDaichi Okuhara(University of Hyogo),Kingo Azuma(University of Hyogo),Hiroshi Akamatsu(Kobe City College of Technology),Takashi Ikehata(ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマグネトロンスパッタ|グロー放電|スパッタ|ＨＰＰＳ|ＨｉＰＩＭＳ|ＰＶＤ|Magnetron Sputtering|Glow discharge|Sputter|HPPS|HiPIMS|PVD\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eハイパワーパルスマグネトロンスパッタ (HPPMS)による放電はアーキングが起こりにくく、高密度の金属プラズマを得ることができる。製作したHPPMSプラズマ源はターゲットの10～20mm離れたところで垂直磁束密度が0点となる磁束を閉じ込めないア ンバランスドマグネトロンプラズマ源であった。 このプラズマ源では0.1～2Paの範囲では安定した放電特性を得ることができ、 2Pa、―800V、500Hzで最大電流18Aを得た。 また、1.7Pa以上ではイオン化されたTi II, Ti IIIの強い発光スペクトルが300～400 nm の波長帯でを観測された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eHigh-power pulsed magnetron sputtering (HPPMS) discharge is hardly arcing and can be produced high density metal plasma. We fabricated HPPMS plasma source and examined. It does not shut up a magnetic field, which cross zero among 10 to 20 mm. The discharge stable between 0.1 to 2 Pa was obtained. A maximum of 18 A current was observed at 2 Pa, and emission of Ti was observed at 1.7 Pa or more.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e3,961 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359538467055,"sku":"IEEJ-PST11007-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_561baa3e-d062-4d96-b7f4-41cf7d23b271.png?v=1743485965","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11007","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}