{"product_id":"ieej-pst11009","title":"100 kW級ペンニング型パルスグローの発生","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11009\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/05\/27\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMetal Ionization in a High-Power Pulsed Sputtering (HPPS) Penning Discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e行村 建(産業技術総合研究所),小木曽 久人(産業技術総合研究所),中野 禅(産業技術総合研究所),東 欣吾(兵庫県立大学),Ehiasarian Arutiun P. (Sheffield Hallam University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYukimura Ken(AIST ),Ogiso Hisato(AIST ),Nakano Shizuka(AIST),Azuma Kingo(Hyogo University),Ehiasarian Arutiun P (Sheffield Hallam University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大電力グロー|HPPS|Glow\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e大電力パルスペニング放電の電気的特性を観測した。結果として10ｋW\/cm2が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe have developed a plasma source in a glow mode with an instantaneous power as high as 100 kW. This belongs to a Penning type discharge plasma generation.  Sputter target has a pair of targets with a size of 24 mm x 20 mm with a gap length of 10 mm. A power of 100 kW is realized. Hence the power density is 10 kW\/cm2, where the target current is approximately 200 A and the target voltage is approximately 500 V. Thus, a high power density can be realized by smaller size of the plasma source.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e10,944 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359538663663,"sku":"IEEJ-PST11009-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4e2523b1-419d-476d-acdb-6e918b7627de.png?v=1743485974","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11009","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}