{"product_id":"ieej-pst11010","title":"マイクロ波励起プラズマのSelf-consistentシミュレーション","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11010\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/05\/27\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Self-consistent Simulation of Microwave-excited Plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003eキム ドンミン(東京大学大学院),大崎 博之(東京大学大学院)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKim Dongmin(The University of Tokyo),Ohsaki Hiroyuki(The University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロ波励起プラズマ|Ｓｅｌｆ－ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ　シミュレーション|ＦＤＴＤ|ドリフト‐拡散モデル|Microwave excited Plasma|Self-consistent Simulation|FDTD|Drift-Diffusion Model\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究ではマイクロ波励起プラズマにおける電磁波伝搬特性とプラズマパラメータを同時に解析できるSelf-consistentシミュレーションツールを開発してきた．具体的には，電磁波伝搬解析の一つの手法であるFDTD法に電子の運動量保存則を組み込むことでプラズマを媒体とするマイクロ波の伝搬特性を求めてから，プラズマ側のエネルギー吸収分布を計算し，電子とイオンの粒子保存則や運動量保存則，エネルギー保存則を基にプラズマパラメータの分布を解析している．今回の研究会では，開発されたシミュレーションツールの解析方法や実際の装置での解析例を発表する予定である．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e5,210 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46359538565359,"sku":"IEEJ-PST11010-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8f4362a8-5c05-4c72-9872-736d9b6fae96.png?v=1743485971","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11010","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}