{"product_id":"ieej-pst11045","title":"高密度・高電離度金属プラズマの発生に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11045\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/08\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStudy on the generation of metal plasmas with high density and high degree of ionization\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e池畑 隆(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eIkehata Takashi(Ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|金属元素|プラズマ発生|スパッタリング|大電力パルス放電|電離度|plasma|metal element|plasma generation|sputtering|high-power pulsed discharge|degree of ionization\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e大電力パルススパッタなどの手法を用いた高密度・高電離度金属プラズマ発生について、研究の動向、講演者を含む国内の研究例について紹介する。関連するテーマで電気学会調査専門委員会が活動しているので、その概要についても若干紹介する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eResearch activities in Japan on the generation of metallic plasmas with high density and high degree of ionization are reviewed.  They include  high-power pulsed sputtering that attracts much attention recently and metal-vapor vacuum arc used for plating.  This presentation is a part of activity in the investigating R\u0026amp;D committee of IEEJ. \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e542 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359540826351,"sku":"IEEJ-PST11045-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b99a047e-e996-48cd-8127-239e6b01e623.png?v=1743486110","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11045","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}