{"product_id":"ieej-pst11065","title":"Ａｒイオンビーム照射による金属材料表面の形状変化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11065\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/08\/09\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eTopographical change of metal surface bombarded by Ar ions\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e鷹尾 良行(西日本工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakao Yoshiyuki(Nishinippon Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eスパッタリング|イオンビーム|アモルファス合金|表面形状変化|Ａｒイオン|Sputtering|Ion beam|Amorphous alloy|Topographical change|Ar ion\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eイオンビーム照射によって、金属材料に特徴的な表面形状が形成される。20keV で加速したArイオンビームをアモルファス合金に照射し、その表面形状変化の観察結果および、イオンビーム照射による表面形状観察の応用例について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eCharacteristic microfeatures are produced and developed on metal surfaces by irradiation with ions. Topographical changes of thin wire surface of amorphous alloy during 20 keV argon ion bombardment have been observed by using a Scanning Electron Microscope. The observed results and their applications have been reported.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e520 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359542202607,"sku":"IEEJ-PST11065-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c4739525-b045-45ab-a835-0df44d18317d.png?v=1743486199","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11065","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}