{"product_id":"ieej-pst11093","title":"プラズマプロセスの赤外分光診断","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11093\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/12\/16\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003einfrared spectroscopic diagnostics of plasma process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e篠原 正典(長崎大学),高木 雄也(長崎大学),原 幸治郎(長崎大学),高見 佳生(長崎大学),天野 勝裕(長崎大学),深江 陽大(長崎大学),松田 良信(長崎大学),藤山 寛(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShinohara Masanori(Nagasaki University),Takaki Yu-ya(Nagasaki University),Hara Ko-jiro(Nagasaki University),Takami Yu-ya(Nagasaki University),Amano Katsuhiro(Nagasaki University),Fukae Akihiro(Nagasaki University),Matsuda Yoshinobu(Nagasaki University),Fujiyama Hiroshi(Nagasaki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e赤外分光法|プラズマプロセス|診断|infrared spectroscopy|plasma process|diagnostics\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eプラズマプロセスを赤外分光法を用いて「その場」で計測を行っている。現在、酸素プラズマとアモルファス炭素膜の反応を調べた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003ePlasma process has been investigated with “in-situ”infrared spectroscopy. Interaction of hydrogen plasma with Si surfaces and that of oxygen plasma with amorphous carbon films have been investigated. \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e665 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359544037615,"sku":"IEEJ-PST11093-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cc1c2581-c995-4895-9703-0b2f6ac0a041.png?v=1743486309","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11093","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}