{"product_id":"ieej-pst11099","title":"大気圧線状グロー放電プラズマ装置の開発とアモルファスカーボン成膜実験","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11099\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/12\/16\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of line glow discharge plasma device and preparation of amorphous carbon films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e福井 経太(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),松尾 吉晃(兵庫県立大学),堀口 恭光(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束 充保(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eFukui Keita(University of Hyogo),Kikuchi Yusuke(University of Hyogo),Matsuo Yoshiaki(University of Hyogo),Horiguchi Yasumitsu(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Nishimura Yoshimi(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Nagata Masayoshi(University of Hyogo),Yatsuzuka Mitsuyasu(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大気圧プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン|高電圧パルス|Atmospheric pressure plasma|Diamond-like carbon|High voltage pulse\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eこれまでに低気圧プラズマを用いたDLC成膜実験装置が実用化されているが、その成膜速度の低さから厚膜のDLC成膜は困難である。また、真空容器が必要なため、対象物の大きさが制限される。そこで、本研究では大気圧線状グロー放電プラズマを安定に得るために、高繰り返し高電圧パルス電源を2台用意し、平行平板電極およびバイアス電極用電源に適用し、成膜実験を行った。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eLine glow discharge plasmas at atmospheric pressure were generated for preparation of large-area amorphous carbon films. The dielectric barrier discharge was produced by the high-voltage, high-repetition bipolar pulse applied between the parallel-plate electrodes with two quartz glasses as dielectric barrier. An amorphous carbon film was prepared with the line glow discharge plasma.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,395 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359544365295,"sku":"IEEJ-PST11099-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e8f0e00e-5434-4e7c-b5eb-3f57376792f8.png?v=1743486328","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11099","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}