{"product_id":"ieej-pst11101","title":"ICP合成によるZnO透明導電膜の光吸収係数のプロセス条件依存性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST11101\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/12\/16\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProcess condition dependence of the light absorption coefficient of ZnO transparent conductive film synthesized in the ICP\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岸田 智和(茨城大学大学院),柳澤 真也(茨城大学大学院),池畑 隆(茨城大学大学院),佐藤 直幸(茨城大学大学院)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKishida Tomokazu(Ibaraki University),Yanagisawa Shinya(Ibaraki University),Ikehata Takashi(Ibaraki University),Sato Naoyuki(Ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＺｎＯ透明導電膜|広帯域光透過率|誘導結合プラズマ|光吸収係数|組成比|配向|ZnO transparent conductive film|wide band light transmittance|ICP|light absorption coefficient|composition ratio|orientation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e多接合太陽電池の透明電極を念頭において，亜鉛-酸素混合のVHF帯ICPを用いて，ZnO透明導電膜(TCF)を合成している．これまで，ノンドープ条件で波長範囲365～2400 nmで平均光透過率\u0026lt;ζ\u0026gt;=90 %，シート抵抗Rs=40 Ω\/□が得られている．今回は，ZnO-TCF特性の更なる向上のため，プラズマ生成条件を変えて，プラズマパラメータと広帯域での光吸収係数の相関を観察している．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,126 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46359544496367,"sku":"IEEJ-PST11101-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_6378b87b-5916-4782-b469-e4c345013a05.png?v=1743486331","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst11101","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}