{"product_id":"ieej-pst13021","title":"sp3-結合性ＢＮ多形薄膜のレーザ支援プラズマＣＶＤによる成長","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST13021\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/16\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eLaser-assisted plasma CVD of sp3-bonded BN polytypic films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小松 正二郎(物質・材料研究機構)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKomatsu Shojiro(National Insititute for Materials Science)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e窒化ホウ素|レーザ|プラズマ|多形|自己組織化|BN|laser|plasma|polytypism|self-organization\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e193nmの紫外レーザを併用したプラズマＣＶＤにより成長するsp3-結合性ＢＮ結晶薄膜の結晶構造と自己組織的形態形成がもたらす機能、及び、その形成機構に関して述べたい。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eExcimer-laser assisted plasma CVD produces sp3-bonded BN with functional morphology and specific crystal structures. The growth mechanism and especially the pattern formation should be understood with regard to the nonlinear dynamical system theory. \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,531 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46359630414063,"sku":"IEEJ-PST13021-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e8f60477-9504-4196-9804-2dbf29c04ca2.png?v=1743489721","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst13021","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}