{"product_id":"ieej-pst16080","title":"ＨiＰＩＭＳにおける基板熱流束に関する考察","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST16080\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/10\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003einvestigation of heat flux to substrate in HiPIMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e太田 貴之(名城大学),服部 克宏(名城大学),小田　 昭紀(千葉工業大学),上坂 裕之(岐阜大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakayuki Ohta(Meijo University),Katsuhiro Hattori(Meijo University),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology),Hiroyuki  Kousaka(Gifu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eHiPIMS中の基板温度を非接触光干渉法を用いて計測し、熱流束を見積もった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eSubstrate temperature was measured by using non-contact optical interferometry in HiPIMS and heat flux was estimated.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,181 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359766597871,"sku":"IEEJ-PST16080-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_30aec959-6ee7-4e2b-9f12-f345b4d8eb12.png?v=1743495025","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst16080","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}