{"product_id":"ieej-pst17072","title":"ループ型誘導熱プラズマを用いたSi基板の高速酸化試験および数値解析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST17072\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/10\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eRapid Oxidation of Si Substrate using Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas and Numerical Analysis\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e土谷 拓光(金沢大学),藤田 敦士(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(株式会社シー・ヴィ・リサーチ),川浦 廣(株式会社シー・ヴィ・リサーチ)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakumi Tsuchiya(Kanazawa University),Atsushi Fujita(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto(CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura(CV Research Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e誘導熱プラズマ|酸化|シリコン|表面改質|熱流体解析|酸化シミュレーション|Inductively coupled thermal plasma|Oxidation|Silicon|Surface modification|Thermal fluid analysis|Oxidation simulation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本論文では，ループ型Ar\/O2誘導熱プラズマ(ICTP)を用いた2インチSi基板の2次元酸化試験の結果を報告する。ループ型ICTP装置は，熱プラズマによる大面積プロセスを目指し，筆者らが独自開発したものである。ループ型ICTPの一部を基板上に生成・維持した状態で基板を掃引させることで，基板全体に熱プラズマを照射できる。酸化速度は100 nm\/minと見積もられ，従来法と比較して約10倍の速さで酸化処理できることを確認している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThis paper describes experimental results on 2D rapid surface oxidation for 2-inch Si substrates using a loop type of inductively coupled thermal plasma (loop-ICTP) torch. The loop-ICTP torch has originally been developed for large-area materials processing. The oxidation rate using Ar\/O2 loop-ICTP was estimated to be 100 nm\/min.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e5,127 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359827120367,"sku":"IEEJ-PST17072-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_aa85fcdc-7cab-4831-90ab-232ec8361dfc.png?v=1743497232","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst17072","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}