{"product_id":"ieej-spc10169","title":"40-60V車載向け多段イオン注入法によるNチャネルスーパージャンクションUMOSFETの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eSPC10169\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 半導体電力変換研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/11\/30\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMultiple ion implantations N-Channel Superjunction UMOSFET for 40-60 V Automotive Application\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e村川 浩一(ルネサスエレクトロニクス),猪股 久雄(ルネサスエレクトロニクス),川島 義也(ルネサスエレクトロニクス),三浦 喜直(ルネサスエレクトロニクス)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMurakawa Koichi(Renesas Electronics Corporation),Inomata Hisao(Renesas Electronics Corporation),Kawashima Yoshiya(Renesas Electronics Corporation),Miura Yoshinao(Renesas Electronics Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eスーパージャンクション|ＳＪ|低オン抵抗|多段イオン注入|車載|アバランシェ耐量|superjunction|SJ|Low on-resistance|multiple ion implantations|Automotive Application|avalanche immunity\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e車載向け40-60Vクラスの超低オン抵抗n-チャンネルスーパージャンクションUMOSFET (SJ-UMOS) について報告する。 今回新たに開発した SJ-UMOSでは、高エネルギー多段イオン注入法（注入種はボロン）を用いて埋込p-型領域を形成している。また、イオン注入の横方向拡がりを考慮し、注入マスクの開口幅を最適化したことで更なるセル微細化に成功した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e817 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46376743534831,"sku":"IEEJ-SPC10169-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_1cec219e-1840-48bd-98f1-197e2bd9285d.png?v=1744114430","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-spc10169","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}