{"product_id":"ieej-spc11163","title":"トレンチフィリングによる600VクラススーパージャンクションMOSFETに対するバーティカルチャージインバランス効果","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eSPC11163\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 半導体電力変換研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/10\/28\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eVertical Charge Imbalance Effect on 600 V-class Trench-Filling Superjunction Power MOSFETs\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e玉城 朋宏(ルネサスエレクトロニクス株式会社),中沢 芳人(ルネサスエレクトロニクス株式会社),金井 秀男(ルネサスエレクトロニクス株式会社),江口 聡司(ルネサスエレクトロニクス株式会社)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTamaki Tomohiro(Renesas Electronics Corporation),Nakazawa Yoshito(Renesas Electronics Corporation),Kanai Hideo(Renesas Electronics Corporation),Eguchi Satoshi(Renesas Electronics Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eスーパージャンクション|チャージバランス|電荷補償|トレンチフィル|superjunction|charge balance|charge compensation|trench-filling epitaxy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eトレンチフィル製法による600VクラスのスーパージャンクションMOSFETについて、解析モデル、数値計算、デバイス試作によって調査した結果を報告する。正確なチャージ制御の為、従来は系統立って議論されていなかったトレンチテーパーとpカラム不純物プロファイルの影響を考慮した。その結果、耐圧736V、規格化オン抵抗16.4 mΩ-cm2、ゲート・ドレイン間チャージ6nCの性能を実デバイスで達成した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003e600V-class superjunction MOSFETs fabricated by trench-filling process are investigated analytically, numerically and experimentally. The careful consideration on the effects of trench taper and p-column profile is given for accurate charge control. The breakdown voltage, specific on-resistance, and gate-to-drain charge of 736 V, 16.4 mΩ-cm2, and 6 nC, respectively, have been achieved for the fabricated SJ-MOSFET.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,142 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46380748505327,"sku":"IEEJ-SPC11163-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_67b0aa95-bfb2-4c88-add6-d1448241503b.png?v=1744205143","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-spc11163","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}