{"product_id":"ieej-ter11006","title":"振動型3軸ＭＥＭＳジャイロの試作と初期評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eTER11006\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 交通・電気鉄道研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/02\/09\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication and basic characteristics of vibratory triaxial MEMS gyroscope\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e前家 純二(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMaeya Junji(University of Hyogo),Kanda Kensuku(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＭＥＭＳ|ジャイロスコープ|モノリシック|３軸|コリオリの力|MEMS|gyroscope|monolithic|triaxial|Coriolis force\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々はモノリシック構造で3軸の角速度検出が可能な振動型ジャイロスコープの研究を行っている。このセンサは角速度の印加により駆動共振させているマスにコリオリの力が発生，マスの変位を静電容量変化で検出する。試作したデバイスで電圧印加による駆動共振および電極間の静電容量変化を確認したので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,515 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46393914163439,"sku":"IEEJ-TER11006-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_33a33e03-e98c-44c8-8559-0bac89012a11.png?v=1744713823","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ter11006","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}