{"product_id":"ieej-ter12006","title":"MEMSリングレーザジャイロのためのミラー作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eTER12006\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 交通・電気鉄道研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/01\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of mirrors for MEMS Ring Laser Gyroscope\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e牧村 賢一(兵庫県立大学),橋本 泰知(兵庫県立大学),宮本 亜聖(兵庫県立大学),笠井 一夫(JST ERATO),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMakimura Kenichi(University of Hyogo),Hashimoto Taichi(University of Hyogo),Miyamoto Asei(University of Hyogo),Kasai Kazuo(JST ERATO),Kanda Kensuke(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e単結晶シリコンウエハ上に形成された光周回路によるMEMSリングレーザジャイロの実現のため，垂直方向に広いミラーの作製を行なった。ミラーは，従来報告のない1 mmという厚いシリコンウエハを使用し，DryエッチングとWetエッチングを組み合わせて作製した。この方法により，Wetエッチングのみで作製するよりも工程時間を短縮することができた。また，エッチング面はミラーとして十分利用可能な平滑面が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e20,157 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46394113458415,"sku":"IEEJ-TER12006-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_675d75f4-015a-4731-b5fb-25afaec5b2d4.png?v=1744718176","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ter12006","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}