{"product_id":"ieej-zt001078","title":"TMS蒸気中の電子輸送係数測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-078\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMeasurement of Electron Transport Coefficients in Tetramethylsilane\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e森 悟志(北見工業大学),吉田 公策(北見工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSatoshi Mori(Kitami Institute of Technology),Kosaku Yoshida(Kitami Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電子輸送係数|テトラメチルシラン|電離係数|電子ドリフト速度|TMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eプラズマCVDやプラズマ重合分野で用いられるTMS(tetramethylsilane)蒸気中の電子輸送係数（電離係数、電子ドリフト速度など）を二重シャッタードリフト装置を用いて初めて測定した。測定範囲はE\/N＝400?2400Tdである。代表的なSiソースであるSiH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eの結果と比較したところ、電離係数はSiH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eのそれにかなり近い値であり、電子ドリフト速度は若干低い値であることが明らかになった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e64 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395511472367,"sku":"IEEJ-ZT001078-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b6ed266b-3c92-41b7-a036-ce734fb567fb.png?v=1744774600","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt001078","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}