{"product_id":"ieej-zt001095","title":"SiH4中、RF放電による微粒子生成過程のシミュレーション","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-095\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSimulation of particle growth processes in SiH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e RF discharge.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤信安 (岩手大学),志田 寛(岩手大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNobuyasu Sato(Iwate University),Yutaka Shida(Iwate University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eシラン|高周波放電|微粒子成長|シミュレーション\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eSiH\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e中、RF放電構造を二次元流体モデルをもちいてシミュレーションを行い、微粒子形成のもととなるSiH\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eラジカルの発生率および密度分布を求め、この結果をもちいてSi原子を多数含むクラスターまたは微粒子の成長過程をレート方程式を用いて計算している。この結果、Si原子数が多くなると成長開始時間が遅くなること、最大密度が低くなること、一方成長速度はあまり変わらないことがわかり、さらに、SiH\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eの密度分布を反映して電極間で非対称な密度分\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e65 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395512488175,"sku":"IEEJ-ZT001095-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d5e60ace-1f24-459b-90e3-58664079279d.png?v=1744774701","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt001095","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}