{"product_id":"ieej-zt001104","title":"イオン照射による窒化炭素（ＣＮｘ）作製における加速電圧の効果","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-104\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDependence of accelerating voltage of ion on carbon nitride synthesis\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小野寺 朋和(武蔵工業大学),湯本 雅恵(武蔵工業大学),堺 孝夫(武蔵工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTomokazu Onodera(Musashi Institute of Technology),Motoshige Yumoto(Musashi Institute of Technology),Takao Sakai(Musashi Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e窒化炭素|加速電圧|運動エネルギー|Ｘ線光電子分光\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e　窒化炭素ＣＮｘはＤＬＣに比べて高硬度、高磨耗抵抗等の特徴があり、工業的利用価値が高い。本研究では、窒素イオンを加速させグラファイト基板に照射してＣＮｘ膜を作製した。その際、イオンが固体に照射されるとき、イオンの運動エネルギーによって固体との相互作用が異なる。そこで、照射されるイオンの運動エネルギーによって試料表面の結合状態が変化する様子をＸＰＳにより分析し、加速電圧に対する結合状態の変化を検討した。その結果、加速電圧が１００ＶのときにＣ?Ｎのｓｐ\u003csup\u003e３\u003c\/sup\u003e結合が多くなっていることが示された\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e54 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395512815855,"sku":"IEEJ-ZT001104-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f358477e-03c1-4a9d-b3b6-3bc8d3a249b1.png?v=1744774730","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt001104","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}