{"product_id":"ieej-zt001264","title":"プラズマソースパルスイオン注入法によるＤＬＣ成膜-水素混入時におけるＤＬＣ膜の物性評価-","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-264\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSynthesis Technique of Diamond-Like Carbon Films by Plasma Source Pulse Ion Implantation-Characteristic of DLC Films at Hydrogen Mixing-\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e吉田 仁紀(日本大学),中森 秀樹(ナノテック),鈴木 薫(日本大学),中田 順治(日本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshinori Yoshida(Graduate School of Nihon University),Hideki Nakamori(Nanotec Corporation),Kaoru Suzuki(Nihon University),Junji Nakata(Nihon University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eダイアモンド状炭素|PSII|イオン注入|プラズマ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜は超硬度、低摩擦係数、耐摩耗性、耐食性、凝着性などの特徴から電子部品、磁気記録媒体、切削工具、刃物、金型への成膜など幅広い分野にわたって実用されている。プラズマソースパルスイオン注入（ＰＳPＩＩ）法の特徴としては３次元立体物に成膜ができ、イオンが材料に対し垂直に入射するのでスパッタ問題が軽減され、成膜時間が早く、同時に多数個に成膜できるなどが挙げられるため、従来のＰＶＤ法、ＣＶＤ法の欠点を補うことができる。今回は成膜時に水素を混入させ、そのときの膜の特性をラマン分光法、ＦＴ?ＩＲなどにより検討した結果について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e61 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395523760367,"sku":"IEEJ-ZT001264-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_01bf0589-0f5a-4b3d-8ba6-1666d7352655.png?v=1744775615","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt001264","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}